低温等离子体等离子体内部产生富含极高化学活性的:粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反。应，最终转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。适用范围广，净化效率高，尤其适用于其它方法难以处理的多组分恶臭、有机废气，设备占地面积小;电子能量高，几乎可以和所有的恶臭、有机废气分子作用;运行费用低;反应快、停止十分迅速，随用随开。但对含水、含尘、有机废气易爆炸，一次性投资费高。
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